
Reiniger
Werden in der Regel als Baugruppe mit Reglern und Ventilen verkauft. In anderen Fällen als eigenständiger Behälter.
- Verunreinigung besser als 100 ppt Output.
- Langer Betriebszyklus – ultrafeines Granulat.
- 9N Output-Reinheit bei 5N Input-Reinheit.
- Sehr großer Durchflussbereich: von 0,1 slpm bis zu 20 nm3/u.
Unabhängig von Ihren Prozessgasen und Verunreinigungen haben wir immer die richtige Reinigertechnologie, um Ihr Gas den Spezifikationen anzupassen:
- Beheizter Getter
- Reaktiver Katalysator
- Katalytisch
- Adsorber
Regeneration von reinigern
Reiniger für mittlere bis große Durchflüsse haben zwei Behälter und sind automatisch selbstregenerierend. Reiniger, die direkt am Ort der Verwendung eingesetzt werden, müssen regeneriert werden. Unser Regenerationslabor setzt Ihre Reiniger wieder auf die Werksspezifikationen zurück.
- Sparen Sie 60-70% an Reinigerkosten.
- Gleiche Spezifikationen wie bei neuen Reinigern.
- Schnelle Regeneration in Europa: keine „Gefahrgut“-Luftfracht.
- Drop-in-Ersatz: ununterbrochenes Prozessgas.
Getestet auf den H2O-Gehalt vor und nach der Regeneration. TOC-Messung möglich. Vorlaufzeit von ca. 1 Woche.


UHP-filters bis zu 1,5nm
Partikelfilter sind Teil unserer Reiniger am Einlass. Aber jeder UHP verwendet Filter und Durchflussbegrenzer. Unsere gesinterten Metallpartikelfilter erfüllen die strengen Anforderungen an die Entfernung von Partikeln in Prozessgasen.
- Breites Spektrum an Durchflüssen. Standard-Drop-in-Typen und kundenspezifisch entwickelte Metalldruckformen.
- Nachgewiesene Wirksamkeit und Effizienz bis zu einer Partikelgröße von 1,5 nm.
- Sehr effizient bei der Entfernung von Partikeln.
- Zuverlässige Leistung, leicht zu reinigen, lange Lebensdauer.
Werden in der Regel als Teil einer Baugruppe mit Reglern und Ventilen konzipiert.



